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厚度是液晶基板玻璃生產(chǎn)過(guò)程中一項(xiàng)重要的品質(zhì)指標(biāo)，隨著液晶基板玻璃尺寸越來(lái)越大，生產(chǎn)節(jié)拍要求越來(lái)越短，傳統(tǒng)的手動(dòng)式測(cè)量已不能滿足生產(chǎn)需求。本文主要研究了接觸式和非接觸式傳感器的在線自動(dòng)測(cè)厚儀，分析使用經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)缺點(diǎn)。 目前，能支持在線自動(dòng)測(cè)厚的傳感器主要有兩種：接觸式與非接觸式。接觸式傳感器，在整個(gè)測(cè)量過(guò)程中，與基板玻璃表面接觸。 接觸式測(cè)厚儀的核心是一對(duì)位移傳感器，相對(duì)放置，夾持住基板玻璃。在標(biāo)定后，計(jì)算兩個(gè)傳感器的測(cè)量值之和，即可得出基板玻璃的厚度，如圖1所示。缺點(diǎn)是：基板玻璃與傳感器探頭之間有相對(duì)滑動(dòng)，易造成基板玻璃表面劃傷。另外，傳感器探頭也有一定的磨損，需要經(jīng)常重新標(biāo)定并定期更換探頭。圖2是磨損的探頭在顯微鏡下的照片，圖3為接觸式測(cè)厚方式測(cè)厚數(shù)據(jù)與離線數(shù)據(jù)的對(duì)比圖。觀察圖3可知，接觸式測(cè)厚方式與離線手動(dòng)測(cè)量結(jié)果基本是一致的，能準(zhǔn)確反映基板玻璃的厚度分布，更適合應(yīng)用于基板玻璃翹曲、機(jī)械振動(dòng)較大的生產(chǎn)線中，能容忍一定的產(chǎn)品劃傷及磨損的領(lǐng)域，例如在線抽檢環(huán)節(jié)。 
圖3接觸式測(cè)厚方式測(cè)厚數(shù)據(jù)與離線數(shù)據(jù)的對(duì)比圖 非接觸式測(cè)厚方式目前主要有激光三角法和干涉法兩種。（1）激光三角法，原理是：由激光射出一道與基板玻璃表面成一定角度的光線，該光線在基板玻璃第1表面形成一道反射光和一道折射光，折射光在基板玻璃的第二表面形成一道反射光，測(cè)量?jī)蓚€(gè)表面反射光之間的距離差，加入基板玻璃折射率參數(shù)，即可計(jì)算出基板玻璃的厚度。優(yōu)勢(shì)在于非接觸測(cè)量，無(wú)磨損，激光頭壽命長(zhǎng)。然而，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，在線的基板玻璃受各種因素影響，難以避免地產(chǎn)生抖動(dòng)、翹曲等變化，這些變化使得基板玻璃表面與入射激光的角度不再穩(wěn)定，測(cè)量精度受到了很大影響。實(shí)測(cè)的結(jié)果如圖4所示。 
（2）干涉法。此種檢測(cè)方式主要依靠從光源發(fā)出的寬波長(zhǎng)光帶到達(dá)傳感器內(nèi)部的參考反射面與玻璃后表面后進(jìn)行反射，而這兩個(gè)反射光是相互干涉的。通過(guò)分光器對(duì)干涉光的每個(gè)波長(zhǎng)實(shí)施分光后，就能夠得出波長(zhǎng)的強(qiáng)度分布。分析這個(gè)強(qiáng)度分布，就可以得到玻璃基板的厚度。其與玻璃無(wú)接觸，可以避免劃傷工件，傳感器也可以長(zhǎng)期使用。其精度非常高，但隨之而來(lái)的是量程的減少以及抗干擾能力的降低。實(shí)際測(cè)試后發(fā)現(xiàn)，玻璃基板的擺動(dòng)、翹曲、設(shè)備震動(dòng)等干擾因素，對(duì)精度的影響非常大，不能滿足要求，因此并未采用。 目前，無(wú)論是非接觸式還是接觸式測(cè)厚方式，都有各自的優(yōu)缺點(diǎn)。對(duì)于在線自動(dòng)測(cè)厚來(lái)說(shuō)，實(shí)際應(yīng)用的結(jié)論是：（1）接觸式測(cè)量傳感器，可以較好地滿足各項(xiàng)要求，缺陷是對(duì)玻璃基板表面的劃傷及維護(hù)不便；（2）未來(lái)提升基板玻璃利用率后，非品質(zhì)區(qū)面積將大為減少；（3）接觸式測(cè)厚面臨被淘汰的命運(yùn)。非接觸式測(cè)厚，如能較好地解決玻璃基板翹曲和擺動(dòng)對(duì)精度的影響，將有更好的應(yīng)用空間。 理想的在線測(cè)厚方式，應(yīng)兼具上述方式的各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，如：精度高、響應(yīng)快、無(wú)損傷、維護(hù)容易、成本低廉等。然而，目前的技術(shù)水平尚未達(dá)到。對(duì)于接觸式測(cè)厚來(lái)講，問(wèn)題在于其傳感器探頭的磨損嚴(yán)重，且對(duì)玻璃基板表面造成的劃傷。未來(lái)的改進(jìn)方向在于更換更為理想的探頭，正在測(cè)試軸承式探頭，但也遇到了一些難以解決的問(wèn)題。對(duì)于非接觸式測(cè)厚來(lái)講，問(wèn)題在于被測(cè)玻璃基板的翹曲弧度對(duì)精度的影響。未來(lái)的改進(jìn)方向在于設(shè)計(jì)更理想的夾持機(jī)構(gòu)。隨著技術(shù)的發(fā)展，如G8.5這種更大尺寸的玻璃基板產(chǎn)品也將投產(chǎn)，在線自動(dòng)測(cè)厚已將面臨更大的技術(shù)難題。另外，作為對(duì)在線測(cè)厚儀測(cè)量結(jié)果的判定依據(jù)，離線式人工測(cè)量也具有改進(jìn)空間，可考慮設(shè)計(jì)大理石平臺(tái)作為支撐玻璃基板的，具有XY兩個(gè)自動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的，干涉式傳感器的自動(dòng)測(cè)厚儀?？傊?，基板玻璃的在線自動(dòng)測(cè)厚儀，是生產(chǎn)過(guò)程中的重要品質(zhì)保障設(shè)備，對(duì)生產(chǎn)效率的提高和良品率的提升具有重要作用，未來(lái)仍有很大的提升空間。
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